使用氦氣檢漏儀協助判斷真空系統的漏氣

真空系統漏氣的判斷

實際的真空系統達不到預定的極限真空，原因有三個：

（1）材料放氣

（2）泵的工作不正常

（3）真空系統漏氣

真空系統漏氣的原因

真空系統漏氣是由各種各樣的微小縫隙造成的。（如玻璃真空系統中燒結的地方夾有髒物微小的炸裂；金屬真空系統中的焊縫，可拆卸部位；電真空器件多半在金屬和玻璃封接，金屬陶瓷封接的地方等等）

真空系統的漏氣不是肉眼可以判斷的，所我們可以透過將真空系統抽氣，到達一定壓強後，關閉閥門，讓系統與泵隔斷，然後測量壓強的變化。透過壓強變化的曲線來區分是哪種原因造成真空系統達不到極限壓強。以必須藉助一定的方法來判斷真空系統是否漏氣。

（1）a壓強保持原來的值不變。說明容器既不漏氣亦不放氣。

（2）b壓強開始上升很快後來呈現飽和狀。說明主要是放氣。

（3）c壓強直線上升，說明主要是漏氣。

（4）d壓強開始上升的很快，後來變得較，但不出現飽和的情況，這是上述兩種情況的綜合，即同時存在放氣和漏氣。

判定了真空系統漏氣後，就可以著手尋找漏孔所在的位置，以及漏孔的大小。

漏孔的大小不是幾何尺寸，真空系統中存在的漏孔通常很小，形狀也很複雜，很難用漏孔的幾何尺寸來表達。漏孔的本質就是漏氣。

漏孔的大小：通常我們用漏氣率來表達。如幾個漏孔大小截面可以不同，但只要漏率（漏氣速率）相等，就認為是完全相同的漏氣速率：一般採用室溫下（20℃），外部為大氣壓強1。0133*105帕時間單位乾燥空氣流過漏孔向真空容器漏入的氣體量來表達： Q0=V · △P/△t

漏率的單位有託升/秒，毫託升/秒，半導體工藝中常用大氣壓毫升/秒，冷凍工程常用毫克/年。目前壓強單位已逐步改為帕，相應的漏率單位為帕·米3/秒。

漏氣率大小的決定因素有：

（1）漏孔的幾何尺寸

（2）容器外部的壓強

（3）氣體的種類

（4）溫度以及氣體在漏孔中的流動狀態等

氦質譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內建機械泵、外接機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能元件。

諾益科技氦質譜檢漏儀適用於元件精確檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速於精確的結果，快速啟動，移動性和系統的可靠性。

氦質譜檢漏儀在許多領域裡得到廣泛的應用，例如，在航空航天領域裡宇宙飛船、太空梭、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。