晶圓、矽片檢測顯微鏡系統

SG-6351矽片檢測顯微鏡，儀器採用了反射和透射兩種照明形式，並配有偏光裝置。在反射光照明下可進行明暗場和偏光觀察，又可在透射光照明下作明場觀察。本儀器配備攝影裝置與顯微鏡相連線拍攝照片等。儀器造型新穎、效能良好、使用方便可靠，可供工廠、高等院校、科研機構及電子工業部門作金相、礦相、晶體、微電子等方面的試驗與分析研究之用。

晶圓/矽片檢測顯微鏡

產品特點

1。 穩定、高品質的光學系統使成像更清晰，襯度更好。

2。 WF10X（Φ22）大視野目鏡，無限遠系統金相物鏡。

3。 儀器採用了反射和透射兩種照明形式，並配有偏光裝置。

4。 在反射光照明下可進行明暗場和偏光觀察，又可在透射光照明下作明暗場觀察。

5。 顯微鏡配置了成像系統可實現在計算機上顯示影象並儲存圖片，影象可進行各種處理、編輯、儲存和輸出 （如列印等） 或進入多媒體系統及電子信箱。

技術規格

1。 光學系統：無限遠光學校正系統

2。 大視野目鏡：WF10X/22mm

3。 平場無限遠長工作距離明暗場物鏡

4。 顯微鏡總放大倍率：50×-1000

5。 轉換器：帶DIC插孔五孔轉換器

6。 雙層移動平臺，尺寸：190×160mm，移動範圍80×50mm

7。 調焦粗、微動同軸調焦，採用齒輪齒條傳動機構，微動格值0。002 mm

8。 照明光源：

①透射照明：鹵素燈12V50W， AC85V-230V，亮度可調

②落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素燈12V50W，AC85V-230V，亮度可調

9。 適配鏡：直徑59mm，放大倍率0。5倍 ，內調焦距0～3mm 調焦後可鎖緊

10。 影象採用Sony COMS感測器，畫素630萬；晶片靶面：1/1。8“；畫素：2。4x2。4（μm）；影象採集速度：15@3072×2048，26@1536×1024；G光靈敏度：0。15mv-425mv；曝光時間： 0。244ms-2s；光譜響應範圍：380-650nm（有紅外截止濾光片情況下）；掃描方式：逐行掃描；快門：電子快門；資料介面：USB3。0；白平衡：ROI 白平衡/手動調

11。 軟體功能：影象顯示、影象拍攝、錄影和影象處理功能，可以對所攝影象進行文字編輯，比例尺顯示；超景深擴充套件；長度，角度，弧長測量；點，線，平行線，垂直測量；園、橢圓測量；矩形，不規則形狀的周長、面積、重心位置等幾何引數測量。